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CFi.CN讯：数据显示，中科飞测2026年前三季度营收16.14亿元，同比增34.31%；Q3单季归母净利润0.32亿元，同比大增783.7%，实现扭亏。新签订单增速明显提速，明场、暗场纳米图形缺陷检测设备成核心增长引擎，前道制程订单占比达80%，存储客户贡献突出，HBM及2.5D/3D封装订单占比升至15%。

近期机构研报指出，公司暗场设备已在国内最先进制程量产交付，明场设备获多家逻辑与存储龙头批量重复订单，产品竞争力持续验证。研报认为，伴随两大存储厂扩产提速、先进逻辑突破及新产品前置验证优势，订单高增长具备可持续性。

研报指出，X光量测设备完成头部客户验证，HBM用晶圆平整度设备进展顺利，电子束CD量测设备已出货验证，平台化布局打开长期空间。上海新基地投产叠加国产化配套完善，产能翻倍保障交付。研报强调，收入放量 研发费用率下降将共同推动2026年起盈利进入改善通道。